气体质量流量控制器

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

主要技术指标
1 量程范围 （0～5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM 

                  （0～1,2,3,5,10,50,100,200,500...）     SLM
2 准确度 ±1.0%F.S
3 线性 ±0.5～1.5%F.S
4 重复精度 ±0.2%F.S
5 响应时间 电特性：1sec      气特性：（1～4）sec
6 工作压差 0.1～0.5Mpa
7 耐压 3Mpa,10Mpa
8 工作环境温度 0～70℃
9 数字量 RS485  MODBUS协议
10 模拟量 DC 0～5V ，4～20mA 可选
11 供电 DC ±15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12 电气连接 DB15针
13 漏率 1×10¬-8SCCSHe
14 底座材质 316L不锈钢
15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16 气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞